電子級氧化鉿：HfO2≥99.9% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤0.002%
1級氧化鉿：HfO2≥99% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤0.2%
2級氧化鉿：HfO2≥99% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤0.5%
3級氧化鉿：HfO2≥98% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤1%
4級氧化鉿：HfO2≥97% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤3%
核級氧化鋯：ZrO2≥98.5%，HfO2/ (HfO2+ZrO2)≤0.005%
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